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非晶矽與低溫多晶矽的區彆

日期:2025-06-18 00:06
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摘要:
非晶矽與低溫多晶矽的區彆
 

據中國太陽能網報道,低溫多晶矽LTPS是Low Temperature PloySilicon的縮寫,一般情況下低溫多晶矽的製程溫度應低於攝氏600度,尤其對LTPS區彆於a-Si製造的製造程序“激光退火”(laseranneal)要求更是如此。與a-Si相比,LTPS的電子移動速度要比a-Si快100倍,這個特點可以解釋兩個問題:首先,每個LTPSPANEL都比a-Si PANEL反應速度快;其次,LTPS PANEL外觀尺寸都比a-SiPANEL小。下麵是LTPS與a-Si相比所持有的顯著優點:1、把驅動IC的外圍電路集成到麵板基板上的可行性更強;2、反應速度更快,外觀尺寸更小,聯結和組件更少;3、麵板係統設計更簡單;4、麵板的穩定性更強;5、解析度更高,

 

  激光退火:

  p-Si與a-Si的顯著區彆是LTPSTFT在製造過程中應用了激光照射。LTPS製造過程中在a-Si層上進行了激光照射以使a-Si結晶。由於封裝過程中要在基板上完成多晶矽的轉化,LTPS必須利用激光的能量把非結晶矽轉化成多晶矽,這個過程叫做激光照射。

  電子移動性:

  a-SiTFT的電子移動速率低於1 cm2/V.sec,同時驅動IC需要較高的運算速率來驅動電路。這就是為什麼a-SiTFT不易將驅動IC集成到基板上。相比之下,p-Si電子的移動速率可以達到100cm2/V.sec,同時也更容易將驅動IC集成到基板上。結果是,首先由於將驅動IC、PCB和聯結器集成到基板上而降低了生產成本,其次使產品重量更輕、厚度更薄。

  解析度:

  由於p-SiTFT比傳統的a-Si小,所以解析度可以更高。

  穩定性:

  p-SiTFT的驅動IC合成在玻璃基板上有兩點好處:首先,與玻璃基板相連接的連接器數量減少,模塊的製造成本降低;其次,模塊的穩定性將得以戲劇性的升高。

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